溶劑
Solvent
清潔
Clean
電子氟化液
以化學結構來說可以分為全氟化合物與部分含有氫原子的非全氟化物兩大類，由於其優異功能與環保安全等特性非常適合使用在精密清洗與溶劑載體。
氫氟醚
是 低毒性、 不可燃液體、不是揮發性有機物質，可以應用在精密清洗 上，取代CFCs 與HCFCs…等會破壞臭氧層的物質或危害人體健康的溴丙烷( nPB)，適合於許多輕度清潔用途。 產品特性為 溶解力佳、 低表面張力、 無殘留與安全，適用於移除IC元件與電子零組件上微粒、指紋與輕度髒污之專業清洗。 此外，與反式1,2 -二氯乙烯混合可形成共沸物，對於清除助焊劑、切削油、臘等效果良好。
全氟化液
是無色透明、 低毒性、不可燃 且具 熱穩定 與 化學惰性 ，這是由於其分子結構上之碳 原子與氟原子緊密鍵結，所以具有 極佳的安定性、不會與一般材料如金屬、塑膠和彈性體起反應；並且可以做為含 氟潤滑油脂和一些氟矽溶質的載體與溶劑。
| 精密清洗氟素溶劑比較表 | ||||
|---|---|---|---|---|
| < 表 一 > | ||||
| 物理化學特性 | HFE-347 | HFE-7100 | HFE-7200 | *HFE-73DE |
| 沸點,℃ | 56 | 61 | 76 | 48 |
| 凝固點,℃ | -94 | -135 | -138 | |
| 液體密度 g/ml, @25℃ | 1.47 | 1.52 | 1.43 | 1.28 |
| 表面張力 dyne/cm @25℃ | 16.4 | 13.6 | 13.6 | 19.9 |
| 蒸氣壓 mmHg @25℃ | 232 | 202 | 109 | 263** |
| 蒸發熱, cal/g @B.P. | 39 | 30 | 30 | 54.2 |
| 水中的溶解度, ppm | 100 | <12 | <20 | <10 |
| 溶解力, KB | N/A | 10 | 10 | 83 |
| 清洗應用 | 微粒清除,指紋,水痕,氟素油污… | 微粒清除,指紋,離型劑,半導體製程腔體內氟化物髒污 | 蒸氣脫脂,助焊劑,切削油污,蠟… | |
| 溶劑應用 | 氟素溶質專用溶劑 | 氟素溶質專用溶劑 | ||
| * 73DE 有兩種成分，其中反式 1,2二氯乙烯為毒化物，需向環保局申請操作許可 | ||||
| < 表 二 > | ||||
| 環境與曝露建議 | ||||
| 臭氧層破壞潛值 (ODP) | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 溫室效應潛值(GWP)** | 870 | 320 | 55 | 47 |
| 閃火點 | 無 | 無 | 無 | 無 |
| 曝露建議 (8小時,時間加權平均) | 50 ppm | 750 ppm | 200 ppm | 100 ppm/200 ppm |
| **CFC-11= 1.0; GWP - 100 年累積時間軸 (ITH) | ||||